Миниатюрные вакуумные насосы — это насосы, в которых в качестве основной рабочей среды используется газ. Подходящие для длительной-работа на холостом ходу и всухую, они создают вакуум (отрицательное давление), приводя в движение диафрагму, обеспечивающую всасывание и выпуск газа посредством возвратно-поступательного движения,-приводимого в движение двигателем. Эти устройства оснащены как всасывающими, так и вытяжными насадками. К специализированным моделям относятся модели двойного-назначения с всасыванием/расширением и модели для воды/газа, которые можно адаптировать к различным условиям эксплуатации.
Основные компоненты включают диафрагменный насос и вакуумный контроллер. Типичным изделием является Busch RA0020F (скорость откачки 20 м³/ч, предельное давление 0,1 мбар). Технологическое развитие сосредоточено на миниатюризации, энергоэффективности и интеллекте, включая технологию магнитной левитации, технологию безмасляной-смазки и экологически безопасный дизайн. Основные области применения включают медицинское оборудование (аспирационные устройства, вентиляторы), мониторинг окружающей среды, производство полупроводников и новую энергетику. По прогнозам, к 2024 году объем внутреннего рынка достигнет 5 млрд юаней.